報告題目:聚焦金屬等離子體在大規(guī)模納米制造上的應(yīng)用
報 告 人:潘亮博士,助理教授
單位:美國普渡大學(xué)
報告時間:2017年7月10日(星期一)下午15:00
報告地點:學(xué)術(shù)會議中心二樓小報告廳
Abstract:金屬等離子體以漸逝波的形式存在于金屬表面,是光場波動和金屬內(nèi)部的自由電子的密度波互相耦合的結(jié)果。金屬等離子體具有獨特的波動性質(zhì),可以有效的把光學(xué)能量聚焦在納米尺度,在光學(xué)近場實現(xiàn)對衍射極限的突破。這個技術(shù)已經(jīng)實現(xiàn)在諸多領(lǐng)域的應(yīng)用,例如納米尺度光刻和成像,增強(qiáng)光伏產(chǎn)品吸收,新一代磁學(xué)存儲和新型光電芯片。在金屬等離子體聚焦的過程中,強(qiáng)光場在納米尺度下可以引發(fā)很多有趣而且重要的物理現(xiàn)象,比如光子電子聲子之間的強(qiáng)烈的非平衡態(tài)耦合作用和非局域性的材料反應(yīng)。對這個領(lǐng)域的深入理解可以帶來更多的新型應(yīng)用。在這個講座中,我們會報告我們近年來在這個領(lǐng)域取得的進(jìn)展,包括:(1)亞10納米尺度的光學(xué)聚焦和成像,(2)基于金屬等離子體直寫的高速光刻技術(shù),(3)基于金屬等離子體的超多電子束光刻技術(shù)。
Biography:潘亮,助理教授,1978年生,先后獲得中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代力學(xué)系學(xué)士(2001)和碩士(2004)學(xué)位,美國加州大學(xué)伯克利分校碩士(2009)和博士(2010)學(xué)位。2010至2012年間在美國國家自然科學(xué)基金會的SINAM納米中心任博士后研究員。2012年至今就職于美國普渡大學(xué)機(jī)械工程系和Birck納米中心。所領(lǐng)導(dǎo)的科研團(tuán)隊主要從事于開發(fā)新型的納米和微米尺度的光學(xué)加工技術(shù)。
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